нанолитография
31Ближнепольная оптическая микроскопия — (БОМ) оптическая микроскопия, обеспечивающая разрешение лучшее, чем у обычного оптического микроскопа. Повышение разрешения БОМа достигается детектированием рассеяния света от изучаемого объекта на расстояниях меньших, чем длина волны света.… …
32Ближнепольный оптический микроскоп — Ближнепольная оптическая микроскопия оптическая микроскопия, основанная на эффекте присутствия в дальней зоне излучения идентифицируемых следов взаимодействия света с микрообъектом, находящимся в ближнем световом поле, то есть на расстоянии много …
33ООСЗМ — Особенность ориентированное сканирование (ООС)[1][2] метод прецизионного измерения нанотопографии поверхности, а также других её свойств и характеристик на сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ), при котором особенности (объекты) поверхности… …
34Объектно-ориентированное сканирование — Особенность ориентированное сканирование (ООС)[1][2] метод прецизионного измерения нанотопографии поверхности, а также других её свойств и характеристик на сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ), при котором особенности (объекты) поверхности… …
35Растровый туннельный микроскоп — Сканирующий туннельный микроскоп (СТМ) система образец + игла, к которым приложена разность потенциалов. Электроны из образца туннелируют на иглу, создавая таким образом туннельный ток. Величина этого тока экспоненциально зависит от расстояния… …
36Сканирующий зондовый микроскоп — Сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ, англ. SPM Scanning Probe Microscope)  класс микроскопов для получения изображения поверхности и её локальных характеристик. Процесс построения изображения основан на сканировании поверхности зондом …
37литография — автография, размывка, олеография, эстамп Словарь русских синонимов. литография сущ., кол во синонимов: 11 • автография (2) • …
38Фотолитография в глубоком ультрафиолете — Схема работы литографии в EUV. Фотолитография в глубоком ультрафиолете (Extreme ultraviolet lithography, EUV, EUVL …
39Встречно-сканированные изображения — (ВСИ, англ. CSI, CSIs counter scanned images)[1][2][3][4]  пара изображений, получаемая при встречном сканировании. При встречном сканировании возможно получение одной или двух пар ВСИ (см. Рис. 1). Каждая пара состоит из прямого и …
40литография — Lithography Литография Процесс, относящийся к плоской печати, при которой печатающие и пробельные элементы печатной формы расположены на одном уровне и обладают способностью избирательного смачивания краской и отталкивания ее. Литография… …
